АвтоАвтоматизацияАрхитектураАстрономияАудитБиологияБухгалтерияВоенное делоГенетикаГеографияГеологияГосударствоДомДругоеЖурналистика и СМИИзобретательствоИностранные языкиИнформатикаИскусствоИсторияКомпьютерыКулинарияКультураЛексикологияЛитератураЛогикаМаркетингМатематикаМашиностроениеМедицинаМенеджментМеталлы и СваркаМеханикаМузыкаНаселениеОбразованиеОхрана безопасности жизниОхрана ТрудаПедагогикаПолитикаПравоПриборостроениеПрограммированиеПроизводствоПромышленностьПсихологияРадиоРегилияСвязьСоциологияСпортСтандартизацияСтроительствоТехнологииТорговляТуризмФизикаФизиологияФилософияФинансыХимияХозяйствоЦеннообразованиеЧерчениеЭкологияЭконометрикаЭкономикаЭлектроникаЮриспунденкция

Адсорбция

Читайте также:
  1. Обменная адсорбция. Иониты. Уравнение Никольского

Как было показано выше, в результате взаимодействия атомов потока с поверхностью и протекающих при этом процессов энергообмена определенная их часть адсорбируется. При этом плотность адсорбированных атомов nа, ат./м2, зависит от плотности потока атомов j, ат./(м2с), взаимодействующих с поверхностью, и определяется вероятностью десорбции атомов: Ŵ= nа/tа,, где tа=tоexp(Eа/kT) (2.1а) – время жизни в адсорбированном состоянии, tо =10-13…10-12с; Eа – энергия связи с поверхностью; k – постоянная Больцмана. Тогда изменение плотности адсорбированных атомов за дифференциальное малое время dt: dnа= jdt-nаdt/ta (2.1б). Уравнение (2.1) составлено на основании закона сохранения массы: количество адсорбированных атомов равно разности числа атомов jdt, поступающих на поверхность за время dt, и атомов, перешедших за это время обратно в газовую фазу.

Решением дифференциального уравнения (2.1) при начальных условиях (t=0 и na =0) является выражение: (2.2). Для начальных стадий осаждения (t<<τa) можно принять, что тогда на основании (2.2) получим: na=jt. Таким образом, при малых временах осаждения наблюдается линейное возрастание плотности адсорбированных атомов в процессе осаждения.

На поздних стадиях роста, при t>>τa из (2.2) получим na=jτa. Следовательно, при таких режимах адсорбционная фаза характеризуется равновесной плотностью, зависящей только от j и tа . При прекращении поступления атомов на поверхность происходит их десорбция, и через время tа они все покинут поверхность.

2.1.3. Поверхностная диффузия.

Адсорбированный атом совершает хаотическое или направленное движение в поверхностном слое (само- или взаимодифузию соответственно) в зависимости от отсутствия или наличия градиента концентрации или химического потенциала. В зависимости условий формирования покрытий в процессе диффузии атом может либо присоединиться к зародышу конденсированной фазы (устойчивой частице осаждаемого материала), т.е. участвовать в формировании покрытия, либо же через некоторое время t, равное времени жизни в адсорбированном состоянии tа, перейти обратно в газовую фазу, т.е. в десорбированное состояние (Рис.2.7).

Рис. 2.7. Схема протекающих процессов при адсорбции атомов (substrate temperature –подложка при заданной температуре; diffusion across an atomic step – диффузия поперек атомной ступени; adsorption at the edge – адсорбция на краю ступени; diffusion along the edge - диффузия вдоль атомной ступени; desorption - десорбция; deposition - осаждение; island – стабильный зародыш покрытия (островковая структура); nucleation mechanism – механизм нуклеации)

Поверхностная диффузия характеризуется длиной диффузионного пробега Х=(2Dtа )1/2, которая равна расстоянию, проходимому атомом на поверхности за время его жизни в адсорбированном состоянии. С учетом уравнения 2.1а Х= 2аexp[(Еа – Еd)/2kT], где а – расстояние между соседними адсорбционными узлами поверхности; D– коэффициент поверхностной диффузии – коэффициент пропорциональности в линейном законе Фика , где ja- поток дффундирующих атомов в адсорбционном слое, dn/dx – градиент их концентрации или плотности слоя; Еа и Еd – энергия активации процессов адсорбции и поверхностной диффузии соответственно; k - постоянная Больцмана).


1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 |

Поиск по сайту:



Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав. Студалл.Орг (0.004 сек.)